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半导体特气检漏仪
XP-703D
产地:日本 品牌日本新宇宙 单价:0
特点:

·最适合于检测半导体特气的微量泄漏。

·采用声光报警。

规格

型 号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理

热线型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

(单位:ppm)

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2 PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内

 
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